دانلود جزوه تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی دکتر فتحی پور دانشگاه تهران

دانلود جزوه تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات نیمه هادی دکتر فتحی پور دانشگاه تهران

568 صفحه به صورت pdf  شامل فصل های زیر:

فصل اول : معرفی و تاریخچه

فصل دوم : تکنولوژی VLSI سیلیکن

فصل سوم : رشد بلور ، ساخت قرص و خواص اساسی قرص های سیلیسیمی

فصل چهارم : اتاق تمیز ، تمیز کردن قرص و جذب

فصل پنجم : نقش و نگار نوری

فصل ششم : اکسیداسیون گرمایی

فصل هفتم : نفوذ