دانلود تحقیق یون گیری واکنشی

فرمت فایل : ورد قابل ویرایش

تعداد صفحات: 98

فهرست مطالب:
مقدمه :    3
2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics)    5
3-فیزیک پلاسما    6
تنظیم الکترودها    8
4-تخلیه های مدار مستقیم (DC)    8
5-تخلیه های Rf    9
پیکره بندی و سخت افزار رآکتور    9
طیف نگاری تخلیه اپتیکی    12
8-الکترون گیری جلوه ها    12
9-مدل سازی سه بعدی از عوارض زمین و عوارض جغرافیایی    13
10-تخریب پلاسما    14
13-پردازش کار با پلاسما در سطو بزرگ    16
14-رآکتورهای لایه لایة ستونی ماکروویو که در فشارهای بالا عمل می کنند    17
15-فرآیند پلاسمای غیر میکروالکترونیک    18
معرفی سمینار (همایش)    19
نقطه نظر (موضع) یا موضوع مورد بحث سمینار    20
شرح حال و تحقیق اخیر آقای Herb Sawin    21
مقالات نمونه در سمنیار  Sample Seminar Notes    35
«بارگذاریهای آزمایشی»    62
مقالات اخیر هرب ساوین    65
مراجع    66
 

مقدمه : 
یون گیری واکنشی- PECVD- Ashing- پراکنده کردن مایعات- شیمی پلاسمایی- فیزیک پلاسما- عکس العمل سطوح نسبت به یکدیگر
سخنران: Herbert H.Sawin
پروفسور مهندسی شیمی و مهندسی برق و علوم کامپیوتر از مؤسسه علم و صنعت ماساچوست (MIT)، شهر کمبریج، MA
 
پیشنهادهای فهرست شدة سمینار:    July 8-12,2002کمبریج، ماساچوست
•    ارزیابی های سمینار
•    معرفی سمینار
•    طرح کلی سمینار
•    شرح حال و تحقیقات جاری هرب ساوین 
•    زمینه ها و خصوصیات خواسته شده از ثبت نام کنندگان
•    روند کار و نوع سمینار
•    اطلاعات برای ذخیره جا در هتل
•    اطلاعات ثبت نام 
•    آموزش در سایت
•    یادداشتهای نمونه سمینار
•    مقالات اخیر ساوین
•    تماس ها برای سوالات
•    ثبت نام در وب سایت
•    اطلاعات ناحیة بوستون
•    سوابق آقای ساوین 
 
1-معرفی 
•    فیزیک پلاسما
•    فرآیند ریزالکترونیک
2-سیفتیک گازی (Gas Kinetics)
•    مدل سیفتیک گازی
•    مدل توزیع ماکسول- بولتزمن
•    مدل گازی ساده شده
•    محتوای انرژی
•    نرخ برخورد بین مولکولها
•    مسیر آزاد
•    سیالیت عددی ذرات گاز روی یک سطح
•    فشار گازی
•    خواص انتقال
•    جریان گاز
•    وضعیت سیال
•    رسانایی رساناها
•    احتمال برخورد
•    پراکندگی گاز- گار
•    پراکندگی ذره از یک آرایش ثابت
•    انتشار ارتجاعی
•    برخورد غیر ارتجاعی
•    نمونه های فرآیندهای برخورد غیر ارتجاعی
•    عکس العمل های فاز- گازی
3-فیزیک پلاسما
•    توزیع انرژی الکترونی
•    سینتیک همگونی پلاسما
•    مدل توزیع (مارجینوا)
•    مدل توزیع (دروی وشتاین)
•    انتقال ذره باردار شده و باردار شدن فضایی
•    سینتیک گاز رقیق شده
•    شکافت انتشار دو قطبی
•    تجمع غلاف
•    سینتیک سادة غلاف
•    حفاظت یا پوشش «دیبای»
•    تجمع غلاف و آزمایش بوهم (Bohm)
•    آزمایش غلاف بوهم
•    خصوصیات میلة آزمایش
•    شکست و نگهداری، تخلیة rf
•    تقریب میدان مشابه
•    تقریب میدان غیرمشابه
•    مدل سازی ئیدرودینامیک خودساختة تخلیة rf
•    اندازه گیری تخریب rf
•    مدل توازن الکترونیکی
•    مقایسة تخریب rf اندازه گیری شده و محاسبه شده
•    ارائه مدل به سبک مونت کارلوی تخلیة rf
•    خود با یا سنیگ rf (تجمع خودبخودی rf)
•    سیستم همگن (متقارن)
•    توزیع ولتاژ در سیستم rf
•    توزیع ولتاژ در پلاسمای خازنی rf متقارن و غیر متقارن
•    مدار معادل تخلیة rf
تنظیم الکترودها
•    سینتیک بمباران یونی
•    تخلیة اپتیکی
•    لم اندازه گیری حرکت
•    ریزنگاری تخلیة اپتیکی
•    فرآیند برخورد الکترون
•    برخورد الکترونی اکسیژن در پلاسما